真空度測試儀說明書
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真空度測試儀說明書
MVC-383 真空度測試儀說明書。
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真空度測試儀說明書
第一章 安全規(guī)則及注意事項
請您在使用 MVC 系列真空度測試儀前仔細閱讀本手冊。
? 在開機之前請先接好所有測試連接線，如打印機連接線；
? 測量前，請檢查管型是否適合所檢測的真空管，以便準確測量。
? 開機、關機及測量時，不要觸及高壓線和磁控電流線，以防觸電。
? 儀器在使用過程中，如發(fā)現(xiàn)線圈發(fā)出異常響聲，應考慮測試線短路或接觸不良，或者空
氣十分潮濕，或真空斷路器表面罩有灰塵等因素。
? 請不要使用汽油、香蕉水等化學劑擦拭機器，而應使用柔軟干燥的布。
? 請確認當?shù)仉娋W(wǎng)電壓是否與本機供電電壓相符。
交流 220±10% 50/60H
Z
? 請注意不要在雷雨的情況下使用機器。
? 請不要破傷隨機所帶的線纜，以確保使用安全。
? 儀器出現(xiàn)故障時，非本公司專業(yè)技術人員嚴禁擅自打開儀器進行檢修。
? 嚴禁高壓端直接或間接對地斷路。
第二章 儀器簡介
MVC-383真空度測試儀是真空滅弧室的真空度的
鑒定設備。經(jīng)西安高壓電器研究所檢驗并出具合格證
書。是目前國內(nèi)能唯一的真實檢測真空含量的少數(shù)品
牌之一。它以單片計算機為主控單元，測試過程完全
實現(xiàn)自動化。該儀器在原理上改變了國內(nèi)外同類產(chǎn)品
采用電流峰值做標定的方法，而采用離子電荷來做標
定。這樣，在物理原理上準確性更高，而且，有效地
抑制了測試過程中脈沖電源的干擾，使測試穩(wěn)定可靠。該儀器采用二次采樣的方法扣除由于
環(huán)境因素產(chǎn)生的漏電電流，并且在測量過程中考慮了完全漏氣的真空滅弧室的判別，真正做
到了對安裝于整機上的真空滅弧室的準確計量。目前，該儀器中已存有 35 條真空滅弧室的測
量標準曲線，涵蓋了國內(nèi)外絕大多數(shù)管型。該儀器質(zhì)量過硬，性能可靠，造形美觀，使用方
便。
第1頁 共20頁真空度測試儀說明書
性能特點：
1、基于電離電荷的采樣技術
MVC 系列真空度測試儀均采用基于電離電荷的采樣技術。我公司專家在磁控放電的
研究中發(fā)現(xiàn)：在外激勵電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時，真空滅弧室內(nèi)的
真空度與電離的電荷量有非常準確的對應關系，而與電離電流的峰值僅有概率上的相關間
接關系。因此，我公司首創(chuàng)了基于電離電荷的采樣技術，顯著提高了真空滅弧室的真空度
計量的準確性。
2、高低壓管型測試
本機另外對測試電壓輸出應用了兩個檔位(高壓 3 萬低壓 2.5)，因此可對高低壓不同
的各類管型時行有效測試。
3、內(nèi)置國內(nèi)外幾乎所有真空滅弧室的測量曲線
真空滅弧室由于其幾何尺寸、材料的不同，當內(nèi)部真空度和外加激勵電源一定時，其
放電電荷量是不同的，并且有相當?shù)牟町悺闇蚀_測量，對每一種真空滅弧室必須有對應
的從電離電荷量到真空度推算曲線。我公司的專家通過與國內(nèi)主要真空滅弧室生產(chǎn)廠家的
密切合作，取得了幾乎國內(nèi)外所有真空滅弧室的電離電荷和真空度關系的數(shù)據(jù)，通過數(shù)學
處理，將其特征參數(shù)送入 MVC-383 系列產(chǎn)品。因此，MVC-383 系列產(chǎn)品內(nèi)置國內(nèi)外幾乎
所有真空滅弧室的測量曲線。這是國內(nèi)外同類產(chǎn)品中絕無僅有的。
4、漏電電流的處理
對處于分斷狀態(tài)的真空滅弧室動觸頭加高壓靜觸頭端加負離子電流時，靜觸頭端會有
數(shù)值不等的幾個微安的漏電電流，此漏電電流即使是同型號的真空滅弧室也有較大的個體
差異。尤其是對于裝在整機上的真空滅弧室，由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電，這些漏
電的總和有更大的不穩(wěn)定性和不可預測性。并且在數(shù)值上與 10E—4Pa 數(shù)量級的真空滅弧
室的電離電流相當。我們采用二次起動高壓的方法，扣除了漏電電流，保證了無論是裝于
整機上還是待裝的真空滅弧室的真空計量精度。
5、判別完全漏氣的真空滅弧室
在 MVC-383 型機中，通過高壓擊穿的方式判別真空滅弧室是否完全漏氣。
6、完善的輸入保護電路
當真空滅弧室的真空度非常低時，測量時真空滅弧室會被高壓擊穿，瞬間的高壓直接
加至負離子電流采樣電路上，使其承受十分強的電沖擊。MVC-383 的采樣電路增加了完
備的保護電路，即使儀器由于輸入端的高壓直接加到負離子電流采樣端居第一時間，微電
腦保護裝置會立即起控，使其進入保護狀態(tài)，就不會造成電路嚴重的損壞。
第2頁 共20頁真空度測試儀說明書
7、數(shù)據(jù)記錄
內(nèi)設微型打印機，可隨時打印出被測數(shù)據(jù)。
第三章 測試原理
利用離子電流在不同真空條件下的漏電流不同，來測試鑒別真空滅孤室優(yōu)劣。
將滅弧室兩觸頭拉開一定的開距，動觸頭施力高壓脈沖靜觸頭施加負離子電流。由于漏
電電流非常弱，易于受到外界不同的干擾而降低精度。因此，必須通過勵磁線圈繞于滅弧室
外側(cè)，向線圈通以大電流，從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與高壓同步的脈沖磁場來，加速離子流，按
比例放大采樣率。這樣，在脈沖磁場的作用下，滅弧室中的電子作螺旋運動，并與殘余氣體
分子發(fā)生碰撞電離，所產(chǎn)生的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例關系。對于直徑
不同的真空管，在同等真空度條件下，離子電流的大小也不相同。通過實驗可以標定出各種
管型的真空度與離子電流的對應關系曲線。當測知離子電流后，調(diào)用內(nèi)部相對應的比例參樣，
加以精確運算，得出準確真實真空度值。也就是說通過查詢該管型的離子電流——真空度曲
線獲得該管型的真空度，這一過程由計算機自動完成。
第四章 技術參數(shù)
? 所測真空泡：電壓等級 6KV-35KV 以上
? 測量范圍：10-5 10-1Pa
-
? 測量誤差：10-4 -10-1Pa 中誤差±10%
? 測量分辨率：10-5 Pa
? 漏氣的滅弧室在測量中將發(fā)生電擊穿，本機處于保護狀態(tài)。
? 允許環(huán)溫：-20℃-50℃，如在 0℃以下測試時請先將機器通電 20 分鐘后再使用。
? 空氣濕度：＜85%RH
? 輸入電源：AC220V±10% 50/60HZ
? 外形尺寸：350×320×225mm]
? 主機重量：10.8kg
第3頁 共20頁真空度測試儀說明書
第五章 真空度測試儀面板和外部接線圖
磁控電流輸出
面板介紹::::
1、 離子電流輸出端：用于輸出測試所需的離子電流。（漏電流采樣端）
2、 磁控電流輸出端：用于輸出測試所需的磁控電流來加速電子流以減小外界的各種因素
對測量精度的影響。
3、 高壓輸出端：用于輸出測試所需的高壓。（低 2. 5 萬伏高 3 萬伏）詳見 3.3.5 操作說
明.
4、 外接電源:提供儀器所需的工作電壓。AC220V±10% 50/60HZ)
5、 電源開關：控制儀器的總開關。
6、 管型：用于選擇與測試相對應的管型。
7、 真空度顯示：用于顯示檢測真空度的真實值。（讀數(shù)用科學計數(shù)法讀?。?/div>
第一章 安全規(guī)則及注意事項
請您在使用 MVC 系列真空度測試儀前仔細閱讀本手冊。
? 在開機之前請先接好所有測試連接線，如打印機連接線；
? 測量前，請檢查管型是否適合所檢測的真空管，以便準確測量。
? 開機、關機及測量時，不要觸及高壓線和磁控電流線，以防觸電。
? 儀器在使用過程中，如發(fā)現(xiàn)線圈發(fā)出異常響聲，應考慮測試線短路或接觸不良，或者空
氣十分潮濕，或真空斷路器表面罩有灰塵等因素。
? 請不要使用汽油、香蕉水等化學劑擦拭機器，而應使用柔軟干燥的布。
? 請確認當?shù)仉娋W(wǎng)電壓是否與本機供電電壓相符。
交流 220±10% 50/60H
Z
? 請注意不要在雷雨的情況下使用機器。
? 請不要破傷隨機所帶的線纜，以確保使用安全。
? 儀器出現(xiàn)故障時，非本公司專業(yè)技術人員嚴禁擅自打開儀器進行檢修。
? 嚴禁高壓端直接或間接對地斷路。
第二章 儀器簡介
MVC-383真空度測試儀是真空滅弧室的真空度的
鑒定設備。經(jīng)西安高壓電器研究所檢驗并出具合格證
書。是目前國內(nèi)能唯一的真實檢測真空含量的少數(shù)品
牌之一。它以單片計算機為主控單元，測試過程完全
實現(xiàn)自動化。該儀器在原理上改變了國內(nèi)外同類產(chǎn)品
采用電流峰值做標定的方法，而采用離子電荷來做標
定。這樣，在物理原理上準確性更高，而且，有效地
抑制了測試過程中脈沖電源的干擾，使測試穩(wěn)定可靠。該儀器采用二次采樣的方法扣除由于
環(huán)境因素產(chǎn)生的漏電電流，并且在測量過程中考慮了完全漏氣的真空滅弧室的判別，真正做
到了對安裝于整機上的真空滅弧室的準確計量。目前，該儀器中已存有 35 條真空滅弧室的測
量標準曲線，涵蓋了國內(nèi)外絕大多數(shù)管型。該儀器質(zhì)量過硬，性能可靠，造形美觀，使用方
便。
第1頁 共20頁真空度測試儀說明書
性能特點：
1、基于電離電荷的采樣技術
MVC 系列真空度測試儀均采用基于電離電荷的采樣技術。我公司專家在磁控放電的
研究中發(fā)現(xiàn)：在外激勵電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時，真空滅弧室內(nèi)的
真空度與電離的電荷量有非常準確的對應關系，而與電離電流的峰值僅有概率上的相關間
接關系。因此，我公司首創(chuàng)了基于電離電荷的采樣技術，顯著提高了真空滅弧室的真空度
計量的準確性。
2、高低壓管型測試
本機另外對測試電壓輸出應用了兩個檔位(高壓 3 萬低壓 2.5)，因此可對高低壓不同
的各類管型時行有效測試。
3、內(nèi)置國內(nèi)外幾乎所有真空滅弧室的測量曲線
真空滅弧室由于其幾何尺寸、材料的不同，當內(nèi)部真空度和外加激勵電源一定時，其
放電電荷量是不同的，并且有相當?shù)牟町悺闇蚀_測量，對每一種真空滅弧室必須有對應
的從電離電荷量到真空度推算曲線。我公司的專家通過與國內(nèi)主要真空滅弧室生產(chǎn)廠家的
密切合作，取得了幾乎國內(nèi)外所有真空滅弧室的電離電荷和真空度關系的數(shù)據(jù)，通過數(shù)學
處理，將其特征參數(shù)送入 MVC-383 系列產(chǎn)品。因此，MVC-383 系列產(chǎn)品內(nèi)置國內(nèi)外幾乎
所有真空滅弧室的測量曲線。這是國內(nèi)外同類產(chǎn)品中絕無僅有的。
4、漏電電流的處理
對處于分斷狀態(tài)的真空滅弧室動觸頭加高壓靜觸頭端加負離子電流時，靜觸頭端會有
數(shù)值不等的幾個微安的漏電電流，此漏電電流即使是同型號的真空滅弧室也有較大的個體
差異。尤其是對于裝在整機上的真空滅弧室，由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電，這些漏
電的總和有更大的不穩(wěn)定性和不可預測性。并且在數(shù)值上與 10E—4Pa 數(shù)量級的真空滅弧
室的電離電流相當。我們采用二次起動高壓的方法，扣除了漏電電流，保證了無論是裝于
整機上還是待裝的真空滅弧室的真空計量精度。
5、判別完全漏氣的真空滅弧室
在 MVC-383 型機中，通過高壓擊穿的方式判別真空滅弧室是否完全漏氣。
6、完善的輸入保護電路
當真空滅弧室的真空度非常低時，測量時真空滅弧室會被高壓擊穿，瞬間的高壓直接
加至負離子電流采樣電路上，使其承受十分強的電沖擊。MVC-383 的采樣電路增加了完
備的保護電路，即使儀器由于輸入端的高壓直接加到負離子電流采樣端居第一時間，微電
腦保護裝置會立即起控，使其進入保護狀態(tài)，就不會造成電路嚴重的損壞。
第2頁 共20頁真空度測試儀說明書
7、數(shù)據(jù)記錄
內(nèi)設微型打印機，可隨時打印出被測數(shù)據(jù)。
第三章 測試原理
利用離子電流在不同真空條件下的漏電流不同，來測試鑒別真空滅孤室優(yōu)劣。
將滅弧室兩觸頭拉開一定的開距，動觸頭施力高壓脈沖靜觸頭施加負離子電流。由于漏
電電流非常弱，易于受到外界不同的干擾而降低精度。因此，必須通過勵磁線圈繞于滅弧室
外側(cè)，向線圈通以大電流，從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與高壓同步的脈沖磁場來，加速離子流，按
比例放大采樣率。這樣，在脈沖磁場的作用下，滅弧室中的電子作螺旋運動，并與殘余氣體
分子發(fā)生碰撞電離，所產(chǎn)生的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例關系。對于直徑
不同的真空管，在同等真空度條件下，離子電流的大小也不相同。通過實驗可以標定出各種
管型的真空度與離子電流的對應關系曲線。當測知離子電流后，調(diào)用內(nèi)部相對應的比例參樣，
加以精確運算，得出準確真實真空度值。也就是說通過查詢該管型的離子電流——真空度曲
線獲得該管型的真空度，這一過程由計算機自動完成。
第四章 技術參數(shù)
? 所測真空泡：電壓等級 6KV-35KV 以上
? 測量范圍：10-5 10-1Pa
-
? 測量誤差：10-4 -10-1Pa 中誤差±10%
? 測量分辨率：10-5 Pa
? 漏氣的滅弧室在測量中將發(fā)生電擊穿，本機處于保護狀態(tài)。
? 允許環(huán)溫：-20℃-50℃，如在 0℃以下測試時請先將機器通電 20 分鐘后再使用。
? 空氣濕度：＜85%RH
? 輸入電源：AC220V±10% 50/60HZ
? 外形尺寸：350×320×225mm]
? 主機重量：10.8kg
第3頁 共20頁真空度測試儀說明書
第五章 真空度測試儀面板和外部接線圖
磁控電流輸出
面板介紹::::
1、 離子電流輸出端：用于輸出測試所需的離子電流。（漏電流采樣端）
2、 磁控電流輸出端：用于輸出測試所需的磁控電流來加速電子流以減小外界的各種因素
對測量精度的影響。
3、 高壓輸出端：用于輸出測試所需的高壓。（低 2. 5 萬伏高 3 萬伏）詳見 3.3.5 操作說
明.
4、 外接電源:提供儀器所需的工作電壓。AC220V±10% 50/60HZ)
5、 電源開關：控制儀器的總開關。
6、 管型：用于選擇與測試相對應的管型。
7、 真空度顯示：用于顯示檢測真空度的真實值。（讀數(shù)用科學計數(shù)法讀?。?/div>
AIGC尊敬的用戶，真空度測試儀是一種專門用于測量和檢測設備或系統(tǒng)內(nèi)部真空狀態(tài)的精密儀器。它通過測定單位體積內(nèi)的氣體分子數(shù)量來確定真空環(huán)境的壓力值，常應用于航天、半導體制造、食品包裝、實驗室研究以及各類機械設備的氣密性檢測等領域。
關于真空度測試儀的說明書，通常會包含以下內(nèi)容：
1. 產(chǎn)品概述：介紹測試儀的基本結(jié)構(gòu)、工作原理、主要功能及適用范圍；
2. 技術參數(shù)：詳細列出儀器所能達到的真空度范圍、精度、響應時間等關鍵指標；
3. 使用方法：
- 開箱檢查與安裝步驟
- 連接電源并校準（如有必要）
- 如何啟動和操作儀器進行真空度測量
- 測量過程中的注意事項與安全規(guī)定
4. 示例應用：展示在實際使用場景中如何正確地對不同設備或系統(tǒng)進行真空度測試，并給出相應的測試數(shù)據(jù)處理與分析方法；
5. 維護保養(yǎng)與故障排除：介紹儀器日常維護的要點、常見問題及解決辦法；
6. 售后服務與聯(lián)系方式：提供產(chǎn)品的質(zhì)保期、維修保養(yǎng)政策以及售后服務熱線等相關信息。
為了更好地理解和使用真空度測試儀，請您查閱具體的用戶手冊或聯(lián)系我們的技術支持獲取詳細的操作指南和相關文檔。如果您有關于真空度測試儀的具體使用疑問，也歡迎您隨時向我們提問。
